TFT-LCD生产中所用PI材料的评价方法

摘要：

本文主要介绍了4.5代TFT-LCD的生产线对于量产用PI材料的评估方法。通过对不同PI材料和Rubbing工艺的验证，对四种PI材料的耐磨擦性能、预倾角的安定性能、各种显示测试，以及残影等的性能进行了综合评估。

关键词： PI材料 评价方法 磨擦性能 安定性能 薄膜晶体管 LCD生产线

作者: 刘伟 吕博嘉 魏山山 方永学 陈文杰 张晶思 钟辉 李雄平 曾莹 张世晓 赵奇峰

作者单位: 上海天马微电子有限公司 上海 201201

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国平板显示学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 49-52

在线出版日期: 2010-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）