光罩护膜

摘要：

本论文对光罩护膜(Pellicle)的用途、材质、制备方法、制作过程中的一些基本要求以及现今光罩护膜的生产动态进行了简要的综述。

关键词： 光罩护膜 制备工艺 材质性能 生产动态

作者: 沈玉芳 于洁 郭文勇

作者单位: 湖北省化学研究院,武汉市,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国平板显示学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 513-516

在线出版日期: 2010-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）