PMOS剂量计的退火特性研究

摘要：

研究了PMOS剂量计在不同温度和栅偏置下的辐照退火表现。结果表明：温度和退火偏置条件是影响初始退火速率和退火幅度的重要因素，较高退火温度下，退火速率高，幅度大、相同退火温度下，正偏置与负偏置相比有加退火的作用，其退火幅度也较大。在180℃，零偏条件下获得了最快的100℅的退火效果；用模型讨论了实验结果。

关键词： PMOS剂量计 辐照退火 退火速率 退火幅度

作者: 范隆 任迪远 张国强 艾尔肯

作者单位: 中国科学院新疆物理研究所(乌鲁木齐)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会

会议地点: 江苏扬州

会议语种:中文

页码: 403～408

在线出版日期: 1999-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）