真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究

摘要：

采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应，能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低，最低激活温度为180℃。在经过激活后，实验装置远端的真空度与泵口真空度相同，因此压力分布呈直线型。

关键词： 储存类加速器 直流磁控反溅射法 不锈钢真空管道 TiZrV薄膜

作者: 蒙峻 侯生军 杨晓天 张军辉 杨伟顺 何源 赵玉刚 胡振军 郭迪周 马向利

作者单位: 中国科学院近代物理研究所 兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049 中国科学院近代物理研究所 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届粒子加速器真空、低温技术研讨会

会议地点: 三亚

会议语种:中文

页码: 158-163

在线出版日期: 2009-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）