椭圆偏振仪测量薄膜光学常数数据处理方法
通过对椭圆偏振仪的原理分析,得到实验可测的ψ和△与λ、θ0、n、n,和d的函数关系.设定相关的已知参数,可利用Mathematica得到薄膜折射率n和厚度d.此外,通过分析ψ和△与θ0和d的关系可知,一定厚度的薄膜材料存在一个最佳入射角,在该角度下测得的薄膜厚度具有最高的精度,从而减小实验因入射角选取而产生的系统误差.本文以ZrO薄膜为例,利用Mathematica求出了该薄膜的厚度和折射率,并得出了该厚度下实验的最佳入射角.分析表明,用athematica处理得到的结果可信且精度较高.
椭圆偏振仪 薄膜厚度 薄膜折射率 入射角 Mathematica处理
陈星 叶兵
浙江大学理学院物理系,杭州 310027
国内会议
哈尔滨
中文
80-85
2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）