会议专题

IC工厂分子污染控制

分子污染控制是一种全方位的服务,是整合工艺、工程与环境的整体考虑,一种跨领域的工程服务。本文介绍了分子污染控制关联概念,浅谈了亚翔对于分子污染控制关联的强化与服务。结合自有空气采样技术,结合CFD的分析能力,帮助客户厘清潜在污染源并提供最终分子污染的控制服务。

分子污染 控制策略 服务模式 空气采样技术 工厂环境

杨政谕

亚翔工程股份有限公司

国内会议

第十二届中国国际洁净技术论坛

苏州

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142-146

2009-10-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)