基于DMD空间光调制器的超微缩直写技术研究

摘要：

本文介绍一种微米级超微缩直写技术，实验使用辐射波长为400nm的LED作为光刻光源，需要微缩加密的图像电信号经计算机处理后输出到DMD空间光调制器，LED辐射的非相干性光由聚光、匀光系统整形为平台光斑均匀照射在DMD空间光调制器上，由双远心成像透镜系统读出DMD空间光调制器输出的图像光信号并微缩成像在光刻蚀材料上，计算机控制XY移动平台及曝光可获得大面积的微米级微缩图像或OVD图像。

关键词： 图像存储 光存贮器 聚酯薄膜 光刻工艺

作者: 吴卫丹 李耀棠 张世超 范少武 黄云 杜俊斌 黄泽文

作者单位: 中国科学院广州电子技术研究所，广州 510070

会议类型: 国内会议

会议名称: 广东省光学学会2009年学术交流大会、粤港澳光学界产学研合作交流大会、广东省光学学会第六次会员代表大会

会议地点: 东莞

会议语种:中文

页码: 26-26

在线出版日期: 2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）