光刻胶热熔法制作异形孔径微透镜阵列研究

摘要：

本文对光刻胶热熔法制作正方形和六角形孔径的微透镜阵列进行了理论和实验研究。利用ABCD定律讨论了热熔后所形成的微透镜阵列的像距和焦距，并推导了微透镜元的曲率半径。采用光刻胶热熔.法成功制作了异形孔径微透镜阵列，并对制作的微透镜阵列进行了成像、透镜高度、畸变及焦距的测量和分析，其焦距的实测值与理论计算值误差分别为5.6％和14.8％，微透镜高度分别为6.857μm和6.039μm，微透镜阵列成像质量高、光学一致性好，是进一步制作高填充因子微透镜阵列的重要参考。

关键词： 集成光学器件 微透镜阵列 光刻胶热熔法 填充因子

作者: 蒋小平 刘德森 叶宇飞

作者单位: 苏州大学 物理科学与技术学院,苏州 215006 西南大学物理科学与技术学院,重庆 400715 西南大学物理科学与技术学院,重庆 400715

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 406-408

在线出版日期: 2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）