SOI片上的1×8阵列上下载微环滤波器
本研究利用193加深紫外曝光的方法应用CMOS技术在SOI片上加工制作了1×8阵列上下载微环滤波器，微环半径分别为21，20.5，20，和19.5μm。通过测量直通端的透射光谱，我们在1540到1560nm的波段上观测到微环阵列谐振波长的透射谱凹陷，对应的消光比均大于15dB，在谐振波长1559.511m处的消光比高达35 dB。在半径为20μm的微环下载端，测得的波长为1540.3，1544.6，1548.9，1553.1和1557.5nm的下载峰，对应的自由谱宽为4.3nm。
集成电路 微环滤波器 芯片制造 紫外曝光
王世君 黄永箴
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京 100083
国内会议
天津
中文
456-458
2009-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）