固体材料放气量的测试及四极质谱仪分析

摘要：

本文根据现有实验条件设计了静态升压法与动态抽气相结合的固体材料放气的测试系统。介绍了利用MKS公司的四极质谱仪对残余气体进行定性和定量分析的方法。通过实验来定性和定量分析、计算电容器中铝箔卷的放气特性，计算单位质量放气量及单位质量铝箔中水蒸气的放气速率。实验表明电工铝箔的放气成分主要是H2O、CO、CO2；H2O的放气速率随温度的升高而逐渐增加，在恒温时又随时间的增加而逐渐下降。

关键词： 真空测试 固体材料放气量 电工铝箔 质谱分析

作者: 窦仁超 陈长琦

作者单位: 合肥工业大学，合肥，230009 中国空间技术研究院，北京，100094 合肥工业大学，合肥，230009

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009北京真空学会真空技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 48-55

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）