DL-10石英型真空计的研制

摘要：

本文阐述了DL-10型石英真空计的研制结果，它用φ2X6型音叉状石英晶振作为压强传感器。该真空计测量范围是10Pa-105Pa，误差约10”％”。石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计。DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器。

关键词： 真空测试 石英真空计 工作原理 压强传感器

作者: 王逊 张云峰 唐镇松

作者单位: 北京大学电子学系，北京 100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009北京真空学会真空技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 75-81

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）