电容薄膜规倾斜角度影响的研究

摘要：

本文利用真空比对标准装置在压力1~100 Pa范围内对电容薄膜规倾斜角度测量校准室压力时带来的误差进行了研究。结果表明：压力误差随电容薄膜规倾斜角度增加而线性增加，但随校准室压力变化不明显。在校准室压力为1 Pa，电容薄膜规沿轴向倾斜角度为7.5°时，压力平均误差达到0.172 Pa，对真空度的准确测量有较大影响。

关键词： 薄膜电容规 真空测试 倾斜角度 压力误差

作者: 张书锋 杜艳君 邱瑞源 郭志颖 王欢 高明

作者单位: 北京东方计量测试研究所 北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009北京真空学会真空技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 96-99

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）