小型元器件的检漏

摘要：

各类电子元件大都有密封性要求，规定了合格与否的漏率值，其漏率定义为：25℃时，在高压为一个大气压（101.33Kpa）和低压低于0.13Kpa的情况下，每秒通过一条或多条泄露通道的干燥空气量，单位为Pa.cm3/s。本文介绍了对密封电子器件用氦质谱检漏仪作背压细检漏，以及运用氟油高温液体法与氟油加压高温液体法对元器件的氟油粗检漏工艺情况。

关键词： 电子元件 密封检漏 真空测量 质谱检漏仪

作者: 张睿明

作者单位: 北京中科科仪技术发展有限责任公司 北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009北京真空学会真空技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 107-114

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）