电感耦合式等离子清洗系统及其在洁净真空中的应用

摘要：

本文介绍了电感耦合式等离子清洗系统的原理、结构、组成，以一台已经试制成功的清洗设备为例，介绍了典型设备的系统构成、技术指标以及应用于微波管制造过程中所收到的良好效果。

关键词： 电真空器件 微波管制造 等离子清洗 电感耦合

作者: 张吉峰 王承章

作者单位: 北京真空电子技术总公司,北京,100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 727-730

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）