一种石英振梁加速度计激振电路的研制

摘要：

本文是一篇有关石英振梁加速度计厚膜激振电路的理论研究、设计和批量化持续改进过程的技术总结.详细地介绍了该产品的电路、结构设计及失效产品分析和解决办法等内容,论证了激振电路模块数字化、批产化和高可靠的设计原则,同时也涉及了传感器行业特点及其发展方向的相关探讨.

关键词： 石英振梁 加速度计 激振电路 多谐振荡器 厚膜集成电路

作者: 王金婵

作者单位: 陕西华经微电子股份有限公司,西安 710065

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 82-87

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）