离子束刻蚀制作超宽带雷达声表色散线工艺研究

摘要：

本文介绍了色散延迟线的工作原理以及在超宽带雷达上的应用,探讨了研制工艺以及通过微机程序控制步进距离实现沟槽反射阵列色散延迟线的制作方法,研制出中心频率180MHz,带宽200MHz、时宽50us的沟槽栅型色散延迟线.

关键词： 色散延迟线 沟槽栅 离子束刻蚀 超宽带雷达 声表色散线

作者: 陈志一

作者单位: 南京电子技术研究所,南京 210013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 203-206

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）