金刚石划片机在微波混合电路中的应用

摘要：

金刚石划片机具有切割精度高,切割边缘整齐等优点,所以在微波混合电路基板切割中得到广泛应用.本文分析了金刚石划片机的工作原理以及影响切割品质的因素,根据不同基板材料提出了相应的切割工艺参数以供参考。

关键词： 金刚石划片机 微波混合电路 LTCC基板 三氧化二铝基板 AIN基板 切割工艺

作者: 杨昆

作者单位: 南京电子技术研究所,南京 210039

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 282-286

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）