硅微电子工业的发展状态、限制、对策及辐射加固的考虑

摘要：

本文首先简要介绍硅微电子工业的发展状态、限制及对策。为了保持硅微电子工业的继续发展，主要的对策是利用新的结构材料以及新的器件结构和器件原理。在此基础上，介绍新形势下硅微电子器件及电路辐射加固的考虑.

关键词： 硅微电子学 辐射加固 结构材料 器件结构

作者: 刘忠立

作者单位: 中国科学院半导体研究所 北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）