微/纳米ZnO薄膜的压电行为研究

摘要：

利用压电力显微镜(PFM)研究了ZnO薄膜的压电系数d11。ZnO薄膜是根据化学浸蘸技术从锌酸铵溶液沉积得到。利用SEM与XRD进行了结构分析表明这种多晶ZnO薄膜具有c轴择优取向。ZnO薄膜的有效压电系数是有厚度依赖性并且变化范围为：15.1-51.9pM/v，它比单晶的(12.4pm/v)要大很多.认为这种行为主要是由断层导致的。

关键词： ZnO薄膜 纳米ZnO 压电行为 化学浸蘸 c轴择优取向

作者: 张克明 刘冬青

作者单位: 北京科技大学数学与力学系， 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第13届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 188-189

在线出版日期: 2007-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）