微载荷传感器的设计、标定与应用

摘要：

在微纳米操纵中，微载荷的获得非常困难。本文在现有的微载荷探测技术基础上，设计了一个悬臂梁微力传感器。它能感应微牛量级的载荷，灵敏度高，同时又能与微操作加载设备相连，完成微操纵中载荷的探测。随后利用光学干涉的方法，对传感器进行了标定，并用于测量AFM探针的模量。

关键词： 微载荷传感器 微纳米操纵 微尺度实验 散斑干涉 悬臂梁 微力传感器

作者: 张钊 李喜德

作者单位: 清华大学工程力学系，北京，100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第13届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 190-191

在线出版日期: 2007-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）