声表面波谐振器结构的边界元法模拟

摘要：

本文给出了声表面波谐振器结构精确分析的边界元法。本文首先假设了声表面波谐振器模型为电极质量负载效应忽略、基片表面是自由表面且认为为半无限介质。然后编写相应程序，为加速仿真，本文电极上的电荷密度采用Chebyshev多项式近似。文章最后给出了一种谐振器结构的导纳曲线的仿真结果，该结果与用Ansys有限元软件仿真的结果基本吻合。因而边界元法是一种有效地模拟声表面波器件的通用方法，该方法适合任意电极电荷的几何分布，且能考虑体波损耗。

关键词： 声表面波 谐振器模型 边界元法 导纳曲线

作者: 柯亚兵 李红浪 何世堂

作者单位: 100190 中国科学院声学研究所声学微机电实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国压电和声波理论及器件技术研讨会暨2009年全国频率控制技术年会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 179-181

在线出版日期: 2009-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）