短波红外非制冷光子型焦平面陈列探测器研制

摘要：

本文着重介绍了工作于短波红外(1～3μm)并可在室温下工作的光导PbS线列型和光伏InGaAs面阵型焦平面探测器研制情况。制备了1×90元的线列PC-PbS和128×128PV-InGaAs探测器原型器件。讨论了PC-PbS的工作方式和性能均匀性的改进；阐述了PbS和InGaAs探测器的制备工艺过程；给出了原型器件的测量结果。

关键词： 短波红外 焦平面陈列探测器 制备工艺

作者: 司俊杰 吕衍秋 王巍 孟庆端 侯治锦 陈湘伟 张向峰

作者单位: 洛阳光电技术发展中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年中国国际光电周

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 54-65

在线出版日期: 2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）