真空环境中MoS2/Au薄膜摩擦过程分析

摘要：

采用磁控溅射的方法在9Cr18基体上制备了1 μm厚的MoS2／Au薄膜并测试了真空环境中其磨损寿命，通过纳米划痕和扫描电子显微镜观察了磁控溅射MoS2／Au薄膜的摩擦过程。结果表明：真空环境中，当载荷为10 N，线速度为1.6 m／s时，磁控溅射MoS2／Au薄膜的寿命超过60万转。稳定润滑阶段，它的摩擦系数为0.03。与稳定润滑阶段相比，此薄膜在摩擦过程中的跑和阶段磨损更严重。

关键词： MoS2／Au薄膜 磁控溅射 固体润滑材料 真空环境 磨损寿命 纳米划痕

作者: 王刚 马欣新 唐光泽 刘勇 何世禹 杨德庄

作者单位: 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年空间环境与材料科学论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 162-164

在线出版日期: 2009-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）