磁控溅射在空心微珠颗粒表面制备不同金属膜的研究
利用磁控溅射方法，开展了在空心微珠表面镀金属Co、Ni、Cu和Ag膜的实验研究。通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等测试仪器，对空心微珠表面金属膜的表面形貌、薄膜厚度及表面粗糙度进行了测试和分析。实验与分析结果表明，由于金属Co、Ni、Cu和Ag的溅射率的差异(YCo<YNi<YCu<YAg)，在相同溅射条件下，制备的四种不同金属膜具有不同的厚度，其表面粗糙度也不同，它们的增长趋势与溅射率的增长相同。
金属膜 空心微珠 磁控溅射法 表面形貌
俞晓正 沈志刚
北京航空航天大学北京市粉体技术研究开发重点实验室,北京,100083
国内会议
威海
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197-202
2009-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）