CVD法制备高纯钛形核过程动力学分析

摘要：

实验用了化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.对高纯钛制备中的形核过程进行了热力学和动力学分析,实验得出：沉积区温度应控制在1350～1450K。

关键词： CVD法 化学气相沉积 高纯钛 形核动力学 温度控制

作者: 陈肖虎 方敏 宋建敏 陈颖

作者单位: 贵州大学材料科学与冶金工程学院,贵州 贵阳 550003 大连交通大学材料科学与材料加工工程学院,辽宁 大连 116028

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国金属学会冶金反应工程学会第十三届(2009年)冶金反应工程学会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 354-360

在线出版日期: 2009-08-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）