高效钯膜氢气纯化器及其应用

摘要：

众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气(99.99999％)，主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大最的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。本文介绍了金属钯膜透氢机理和研究工作进展，分析了工作流程及原料气要求。

关键词： 工业气体 高纯氢气 氢气净制 金属钯膜

作者: 徐恒泳

作者单位: 中国科学院大连化学物理研究所,大连 116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国动力工程学会工业气体专业委员会2009年技术论坛

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 51-52

在线出版日期: 2010-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）