大宗硅烷供气系统设计

摘要：

本文介绍了硅烷的性质，国内外行业规范要求，以及其供气系统的工艺和本质安全设计的要点。同时对硅烷的日常使用和应急反应提出了建议，确保系统的安全可靠运行。

关键词： 工业气体 硅烷储运 供气安全 工艺设计

作者: 李东升

作者单位: 上海正帆科技有限公司,上海 201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国动力工程学会工业气体专业委员会2009年技术论坛

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 143-145

在线出版日期: 2010-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）