电子束熔炼时间对多晶硅杂质去除效果研究

摘要：

采用电子束熔炼对98.8％的工业硅进行提纯，研究电子束熔炼参数的变化对各种杂质元素的去除效果，同时分析熔炼后杂质元素在硅锭上的分布状态。实验结果表明。电子束熔炼对硅中的主要杂质都有一定的去除效果，对P、Ca、Al效果较为明显，熔炼时间越长效果越好。

关键词： 电子束熔炼 熔炼时间 太阳能级硅 杂质去除

作者: 谭毅 姜大川 徐云飞 董伟 王强 彭旭

作者单位: 大连理工大学材料学院,大连,116023

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国储能与动力电池及其关键材料学术研讨与技术交流会

会议地点: 张家港

会议语种:中文

页码: 96-97

在线出版日期: 2009-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）