高纯氧化钇复合涂层的研制

摘要：

氧化钇涂层因其优异的抗等离子腐蚀性能在半导体行业得到广泛的应用。本文采用等离子喷涂方法制备了氧化铝、氧化钇复合陶瓷涂层，研究涂层的制备工艺。通过SEM对涂层的微观组织进行分析研究。通过对涂层结合强度、孔隙率、沉积率和表面粗糙度的测试。研究涂层的综合性能。对单层氧化钇涂层和双层结构复合涂层进行性能对比，研究表明双层结构复合涂层具有更好的力学性能。在满足使用性能的同时，具有易清除再加工、易修复的特点。

关键词： 氧化钇 复合涂层 等离子喷涂 微观组织 综合性能

作者: 冀晓鹃 任先京 侯伟骜 黄新春 杨晓剑

作者单位: 北京矿冶研究总院,北京,100044

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国热喷涂技术经验交流会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 177-179

在线出版日期: 2009-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）