高纯金属有机化合物(MO源)质量分析
MO源是发展光电子产业的支撑性材料之一，是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料，同时，在高迁移率晶体管、半导体激光器、太阳能电池、红外探测技术、超高速计算机等的研制中具有十分重要的作用。MO源的纯度、品质对外延片乃至最终的光电器件或高频器件有着至关重要的影响，尤其对于技术含量更高的蓝光器件、半导体激光器、HBT等产品的功能更是起着决定性的作用。因此分析检测技术是MO源合成与纯化技术的延伸，是界定其品质的重要手段。半导体照明使用的MO源主要有三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝、三乙基镓和二茂镁，其纯度均在99.9999％，即无机杂质元素含量小于1μg/g。MO源的分析主要分为无机杂质元素和有机杂质的检测。
高纯金属有机化合物 支撑性材料 分析检测技术 质量分析
吕宝源 孙祥祯
江苏南大光电材料股份有限公司,215021
国内会议
苏州
中文
25-26
2010-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）