GaN MOCVD控制系统设计与研制

摘要：

本文对MOCVD控制系统特点进行了介绍，通过设计实现了对MOCVD设备压力、流量、温度等关键参数的精确控制，开发了上位机手动控制软件和工艺配方自动控制软件，本控制软件系统经过MOCVD设备(七片机)的验证和长时间稳定运行，并制备出高质量的GaN蓝光LED结构材料，功能强大，操作简洁灵活，完全适合产业化设备应用。

关键词： 金属有机化学气相淀积设备 控制系统设计 上位机 工艺配方

作者: 冉军学 王晓亮 胡国新 张露 殷海波 肖红领 李晋闽

作者单位: 中国科学院半导体研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国MOCVD学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 51-53

在线出版日期: 2010-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）