气固相变过程中气相金属的压力与流动的理论方程
在金属气相淀积工程中，要保持淀积的连续性就要维持适当的压力和气体流向。在淀积过程中，气相到固相的变化包涵了一个外观体积的跃变。如果不能及时控制体积跃变效应，就会导致气体压力下降，造成相变的停顿。另一方面，对于指定表面上的淀积而言，气体在平行于表面流动时的淀积效果要好于其它流动方向。因而在MOCVD中，控制气相金属的压力和流向是一个关键问题。基于连续介质的理性力学理论，本文给出了气相金属的压力与流向的理论方程。
金属有机化学气相淀积 理性力学 气固相变 气流场控制
肖建华
河南理工大学测量学院,河南焦作市高新区,454000
国内会议
苏州
中文
142-145
2010-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）