铱薄膜的MOCVD沉积效果研究

摘要：

以乙酰丙酮铱为前驱体，采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在Mo基体上制备了Ir薄膜。研究了Ir的沉积效果与沉积温度及反应气体(O2)间的关系。Ir薄膜的沉积速率与沉积温度绝对温度的倒数呈抛物线关系，当温度为750℃时，Ir的沉积速率达到最大值，沉积温度对Ir薄膜的显微形貌有显著影响；O2的流量对薄膜的成分、形貌及结构等均有显著影响。

关键词： 金属有机化学气相淀积 铱薄膜 沉积效果 沉积温度

作者: 蔡宏中 胡昌义 陈力 王云

作者单位: 昆明贵金属研究所,云南 昆明 650106 云南稀贵金属材料重点实验室,云南 昆明 650106

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国MOCVD学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 151-154

在线出版日期: 2010-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）