采用MOCVD生长方法制备量子级联激光器研究进展

摘要：

量子级联激光器(QCL)是一种基于子带间电子跃迁的中、远红外波段单极光源。由于MOCVD较MBE具有更快的生长速率，高质量的磷化物生长、低缺陷密度等优势更适合工业化生产，越来越多的量子级联激光器采用这种方法制备，并实现了室温连续大功率输出。本文就采用MOCVD生长方法制备量子级联激光器的研究进展进行了总结。

关键词： 量子级联激光器 金属有机化学气相淀积 电子跃迁 单极光源

作者: 林琳 陈宏泰 杨红伟 刘英斌 安振峰

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国MOCVD学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 158-162

在线出版日期: 2010-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）