纳米金刚石应用于蓝宝石衬底抛光的研究
蓝宝石是氮化镓外延生长的重要的衬底。采用Dmax≤100nm，D50为53.9nm的纳米金刚石对C(0001)定向的蓝宝石衬底进行抛光，并与SiO2的抛光效果进行比较，结果表明：两者抛光机理不同。纳米金刚石能快速消除研磨工序的划痕，获得0.157nm(AFM：20μm×20μm)的光滑表面；SiO2的抛光效率低，能获得低粗糙度的光滑表面，但不能有效消除研磨工序的划痕。纳米金刚石与SiO2的抛光效率分别为142nm/min、70.49nm/min。
蓝宝石 衬底抛光 纳米金刚石 亚纳米级光滑表面
刘学璋 许向阳 翟海军 谢圣中 王绍斌
金瑞新材料科技股份有限公司 410012
国内会议
郑州
中文
65-68
2009-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）