硅晶体切断专用金刚石环形带锯条的制造工艺研究
本文对单晶硅棒/多晶硅锭切断专用的金刚石环形带锯条制造的技术、工艺、测试及环保方面进行了介绍。采用电沉积方法制造金刚石带锯条，选用韧性好、强度高的钢材为基体材料，结合优质金刚石，对基体几何尺寸、偏摆、跳动严格控制，对金刚石进行表面处理，粒度重整，在工艺过程中，采用了独家设计的旋转装置，同时引入了最先进的安时参数(Ah)测控，制造出的带锯条性能稳定、寿命长、精确度高。在后续处理上，设计采用了零排放工艺流程，并采用膜分离技术对意外产生的废水进行处理。对于低浓度的废气，采用全封密排风通道，结合SDC复合吸附剂，净化效率可达到98％，确保达到国家环保要求。
硅晶体 金刚石 环形带锯条 制造工艺
占志斌 王春芳 翟焕春
三河市金贝金刚石应用技术开发有限公司 065201
国内会议
郑州
中文
97-102
2009-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）