溶剂热电化学合成类金刚石碳膜
类金刚石薄膜具有硬度高、摩擦系数小、电阻率大、传热性好、化学惰性等优异性能,在机械、光学器件、电子等工业上的应用越来越广泛,因此它的研究也越来越受到人们的关注.目前比较成熟的类金刚石薄膜制备方法是化学气相沉积法(CVD),如微波等离子体CVD、热丝CVD等.1992年,Namba首次用电化学方法高压电解乙醇,得到了DLC,随后Cao,Wang等分别以乙腈,N,N-二甲基甲酰胺(DMF)、甲醇、乙醇等有机溶剂为电解液进行沉积.由于高压电解设备复杂,价格昂贵,电压高,能耗大,于是低压沉积DLC膜引起了人们的兴趣.2003年,Gupta等电解乙酸水溶液,以ITO导电玻璃为阴极及基底,沉积温度358K,沉积电压2.1V得到了DLC膜.2005年本课题组在常温常压下,以铂为基底,于-1.7V电解CCl4-NaCl-”BMIM”BF4体系,得到金刚石结构的物质.本论文报道采用溶剂热改进的电化学方法制备类金刚石薄膜的实验结果.
溶剂热 电化学合成 类金刚石碳膜 化学惰性 化学气相沉积法
路丹花 杜颖颖 张博 张树永
山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100
国内会议
长春
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2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）