ICP-AES法测定三氯氢硅中微量元素B的含量

摘要：

本文提出了电感耦合等离子体光谱仪直接测定三氯氢硅中微量元素B含量的分析方法，确定了最佳的测定条件。该方法简便、快速、灵敏，B元素的检出限为0.05ug/g；检测的相对标准偏差＜5％；回收率93％~101％，结果令人满意。

关键词： 三氯氰硅 电感耦合 等离子体光谱仪 微量元素 检出限

作者: 刘立娜 丁丽 王东雪

作者单位: 信息产业部专业材料质量监督检验中心,天津市 300192

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2009-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）