不同衬底对溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜结构的影响

摘要：

TiO2 薄膜通过溶胶凝胶法（sol-gel）沉积在SiNx、SiOx、Si等不同衬底上，并采用XRD、 Raman光谱等实验手段分析TiO2 薄膜在不同衬底上的结构特点。结果表明，衬底对TiO2 薄膜的结晶质量等性质有着重要影响，在SiNx 衬底上的薄膜有较好的结晶质量。

关键词： 溶胶凝胶法 结晶质量 二氧化钛薄膜

作者: 谢燕楠 黄火林 吴正云

作者单位: 厦门大学 物理系,福建 厦门 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2009-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）