薄膜生长的三维蒙特卡罗模型
构造了三维蒙特卡罗模型来研究了六边形基底薄膜生长的整个过程，模型中考虑了针对每个原子的三个动力学过程：原子沉积、原子扩散及原子脱附，并且认为这三个过程是相互独立的，即在同一计算步长中，三个过程依据各自的概率发生。经过生长过程可视化的结果表明，薄膜原子之间的相互作用能、基底温度及沉积速率对薄膜的生长方式有显著影响，这一结论也得到了实验的验证。
薄膜生长 三维Monte Carlo模型 生长方式 微观形貌 原子沉积 原子脱附
朱祎国
大连理工大学工业装备结构分析国家重点实验室,大连理工大学工程力学系
国内会议
郑州
中文
1-7
2009-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）