氯化氪准分子紫外光源的特性研究

摘要：

本文介绍了基于介质阻挡放电的氯化氪(KrCl)准分子灯的光谱、输入功率以及222nm的辐射效率。KrCl准分子灯为同轴结构，内管和外管的内/外径分别为14/16mm和37.6/40mm。灯内总气压150Torr，其中含1.5Torr氯气和148.5Torr氪。测定辐照度后，通过Keitz公式计算222nm的辐射功率，而灯的功率则通过示波器结合高压探头和电流互感器来测量.结果表明，KrCl准分子灯在正弦电源频率48.4kHz、输入功率150W时222nm辐射的效率为5.3％。

关键词： 氯化氪准分子灯 介质阻挡放电 辐射效率 紫外光源

作者: 庄晓波 朱绍龙 张善端

作者单位: 复旦大学电光源研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国电光源科技研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 61-69

在线出版日期: 2009-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）