紫外激光微孔列阵精细加工

摘要：

采用波长为355nm的高重复频率、超短脉冲全固态紫外激光器作为光源，对材料进行精细列阵孔加工。激光束精细加工系统采用旋转打孔聚焦光学头结合精密位移工作台以及激光束振镜扫描结合远心扫描物镜两种工作方式。

关键词： 全固态紫外激光器 激光加工 列阵孔 旋转双光楔 远心扫描物镜 超短脉冲

作者: 潘涌

作者单位: 上海市激光技术研究所,上海市激光束精细加工重点实验室,上海,200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 上海市科协第七届学术年会—上海市激光学会2009年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 85-85

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）