基于透射光谱法拟合高掺Sn二氧化硅薄膜的参数
由于普通的化学气相沉积法制作高掺Sn的二氧化硅薄膜比较容易产生结晶，而溶胶-凝胶法制备薄膜化学组成比较容易控制，可以制作出掺Sn浓度较大的材料.文章采用了溶胶-凝胶的方法制备出了50％70％及90％不同掺Sn浓度的Si02薄膜，用浸渍法多次提拉薄膜以增加薄膜的厚度，之后用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射光谱.本文针对双面光学薄膜，建立数学模型从理论上分析推导了其透射率T与入射光波长λ、薄膜折射率n、消光系数k、薄膜厚度d之问的关系。 然后根据峰值理论，计算n和d的初值.最后拟合出具有不同浓度的薄膜的折射率随入射波长变化曲线，结果表明薄膜的折射率随着二氧化锡含量的增加而升高。
透射光谱 二氧化硅薄膜 折射率 消光系数 曲线拟合 溶胶-凝胶法
鹿焕才 贾宏志 魏葰
上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室,200093
国内会议
上海
中文
249-255
2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）