用硫化铵做表面处理的n型GaN上Ti/Al/Ni/Au欧姆接触的高温特性

摘要：

本文用传输线模型对用硫化铵做表面处理的n型GaN上Ti/Al/Ni/Au欧姆接触的比接触电阻率对温度的依赖关系进行了研究。

关键词： 硫化铵 表面处理 欧姆接触 高温特性

作者: 林芳 张国义 沈波 黄森 许福君 鲁麟 宋杰 梅伏洪 马楠 秦志新

作者单位: 北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室,北京 100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体物理学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 97

在线出版日期: 2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）