SiGe、GaN薄膜生长的研究

摘要：

随着固态高科技产业(集成电路产业、固体发光和激光器件产业、磁记录材料和器件产业等)的迅速发展，薄膜科学和技术愈来愈受到重视。本文对SiGe、GaN薄膜的生长问题做一综述。

关键词： 薄膜生长 薄膜科学 半导体材料

作者: 付强 王一丁 贾佳 赵天月 丛梦龙 李磊

作者单位: 吉林大学 集成光电子国家重点实验室 电子科学与工程学院 长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体物理学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 105

在线出版日期: 2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）