两端结构中长波同时响应型双色量子阱红外探测器
传统的双色量子阱红外探测器为了实现双色同时探测，往往采用三端结构器件，即每个像元上制作3个电极，通过3个铟柱与读出电路倒装互联，这会使焦平面阵列的填充因子减小，并且面阵较大时，因为铟柱数目极多，其后续工艺十分复杂，往往使面阵均匀性及成品率降低。文中介绍了其材料生长和器件制作技术，进行了单管测量，并对其工作原理进行了分析。
红外探测器 两端结构 读出电路 长波同时响应
霍永恒 马文全 刘小宇 张艳华 种明 杨涛 陈良惠 史衍丽
中科院半导体研究所纳米光电子实验室 北京市海淀区清华东路甲35号 100083 昆明物理研究所
国内会议
长春
中文
127-128
2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）