基于晶格失配外延层应变效应自组装制作三维微纳米结构

摘要：

微光机电系统(MOEMS)是当今技术领域研究的热点之一，它采用先进的半导体工艺，将具有信号处理功能的智能机械结构与光电子器件集成在一块芯片中，可以制作种类繁多的微型器件，实现多种功能。本文介绍了自组装制作技术有限元方法模拟。

关键词： 微光机电系统 自组装 微纳米结构 光电子器件

作者: 王海龙 邵凤兰

作者单位: 曲阜师范大学物理工程学院 曲阜 273165 济宁学院物理系 曲阜 273155

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体物理学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 131-132

在线出版日期: 2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）