会议专题

GaNAs/GaAs量子阱界面性质的偏振差分反射谱研究

稀氮化合物半导体具有大的能带弯曲常数,是制作1.3-1.55μm半导体激光器很有潜力的材料。近年来,人们已经对GaAsN/GaAs量子阱的光学性质进行了大量的研究。人们发现GaAsN/GaAs量子阱的光学性质随氮浓度的升高而下降。本文采用偏振差分反射谱(RDS)研究界面性质随氮浓度升高的变化。研究表明,随氮浓度升高,上界面的氮原子偏析长度增大,界面陡峭度降低,界面粗糙度增大,与其他文献报道的结果,一致。可见,RDS是对异质界面进行无损表征的十分有效方法。

偏振差分反射谱 界面性质 光学性质 量子阱

俞金玲 陈涌海 汤晨光

中科院半导体研究所材料重点实验室,北京,100083

国内会议

第十七届全国半导体物理学术会议

长春

中文

146-147

2009-08-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)