近红外微镜光谱仪光学系统优化设计的研究

摘要：

近红外光谱是指波长在0.78-2.5μm范围内的电磁波。通过对特定物质的近红外光谱分析可确定其组份，具有分析样品用量少等优点，广泛应用于生物学等领域。凹面光栅除了具有分光成像的功能外，还具有校正像差形成平场谱面的特点。本设计考虑使用MEMS技术来制造扫描微镜，实现单个探测器进行快速的光谱扫描探测，以此来提高光谱探测信号的质量，降低近红外光谱仪的成本。

关键词： 近红外光谱仪 光学系统 扫描微镜 光谱探测

作者: 罗彪 温志渝 温中泉

作者单位: 重庆大学微系统研究中心,重庆 400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体物理学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 192-193

在线出版日期: 2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）