背接触薄膜多晶硅太阳能电池的制备

摘要：

对制备成本低、转换效率高的薄膜太阳能电池来说，把多晶硅薄膜上生长在玻璃上是一种很好的途径。在非硅衬底上采用直接沉积法形成的晶粒尺寸一般都小于1微米，并且容易在晶粒间形成空隙。一种可行的办法是在低于玻璃的软化温度下先形成一层很薄的、晶粒横向尺寸比较大的多晶硅种子层，然后把这个种子层作为模板进行低温外延加厚生长。

关键词： 太阳能电池 多晶硅薄膜 直接沉积 低温外延生长

作者: 黄仕华

作者单位: 浙江师范大学材料物理系 金华 321004

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体物理学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 202-203

在线出版日期: 2009-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）